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HANBELL IPH系列漢鐘真空泵

HANBELL IPH系列漢鐘真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優良的性能,適用于嚴苛制程。用途包含Etch,Implant,HDP-CVD,SACVD,MOCVD,PECVD,LPCVD,ALD等。也可根據需求定制,貝之特真空有授權代理,誠信經營,期待合作!

IPH系列漢鐘真空泵型號有:iPH100、iPH200、iPH610、iPH1210、iPH1210H、iPH1220、iPH1810、iPH1820等,以下有詳細配置參數,歡迎瀏覽。

詳細介紹

HANBELL IPH系列漢鐘真空泵特點:

1、IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優良的性能,適用于嚴苛制程。

2、IPH系列螺桿真空泵優良的性能源自于轉子排氣路徑和優越的轉子型線設計。

4、HANBELL IPH系列漢鐘真空泵較之前的版本節能25%,配置有省電模式。

5、HANBELL IPH系列漢鐘真空泵帶有加熱系統避免制程物沉積。 

6、 優化的尺寸,即插即用。


HANBELL IPH系列漢鐘真空泵配置參數

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