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HANBELL IPM系列漢鐘真空泵

HANBELL IPM系列漢鐘真空泵可廣泛用于Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant等。貝之特真空有授權(quán)代理,誠信經(jīng)營,期待合作!

詳細(xì)介紹

HANBELL IPM系列漢鐘真空泵特點:

 IPM系列漢鐘真空泵綠色制造、全新系列干式真空泵不僅體積小、耗功低,還大幅度降低成本,因此貝廣泛用于中度嚴(yán)苛制程的節(jié)能泵。


HANBELL IPM系列漢鐘真空泵配置參數(shù)

HANBELL IPM

100

600

DP size

m3/h

100

100

Peak Speed

m3/h

/

600

Ultimate Vac

m3/h

100

600

Ultimate Vac

mTorr

7.5

3.75

System Power at Ult.

KW

0.7

1

Dimension- L

mm

720

720

Dimension- w

mm

340

340

Dimension- H

mm

465

700

Noise

dB(A)

65

65

Weight

Kg

145

200

Inlet Connection

ISO

63

80

Outlet Connection

NW

25

25




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